| Format | M10R |
| Oksijen Konsantrasyonu | ≤ 7.0×1017 at/cm3 (≤ 14 ppma) |
| Karbon Konsantrasyonu | ≤ 2.5×1016 at/cm3 (≤ 0.5 ppma) |
| Özgül Direnç | 0.3–1.6 Ω·cm |
| Azınlık Taşıyıcı Ömrü | ≥ 800 µs |
| Boyutlar | 182,2 ± 0,2 mm, 183,75 ± 0,2 mm |
| Kalınlık | 130 µm ± 8μm |
| Format | G12R (182.3 mm x 210 mm) |
| Oksijen Konsantrasyonu | ≤ 11 ppma |
| Karbon Konsantrasyonu | ≤ 1 ppma |
| Özgül Direnç | 0.3–1.6 Ω·cm |
| Azınlık Taşıyıcı Ömrü | ≥ 1000 µs |
| Boyutlar | 182,3 ± 0,2 mm, 210 ± 0,2 mm |
| Kalınlık | 130 µm ± 8μm |